SIRCは、本館（クリーンルーム600 m²）およびナノ棟（クリーンルーム150 m²）を基盤に、MEMS／LSIのプロセス・設計・評価・試作を一貫して行える全国有数の微細加工・評価環境を提供します。学内外の研究者が装置群を活用して最先端デバイスを自ら試作・実証する「研究開発機能」と、装置維持管理・技術講習・プロセス相談を通じて幅広い研究活動を支援する「研究支援機能」を両輪とする、研究開発×共同利用のハイブリッド型拠点として運営しています。また、装置の維持・管理は、教職員および学生を含む利用者で行っており、装置やプロセス理解を深める教育の場としても機能しつつ、最先端の研究を推進しております。

体制は、(1)先端パッケージング・ヘテロ集積化、(2)先端センシング、(3)シリコンフォトニクス、(4)共同利用（機能継承）の4部門を柱とし、量産ラインでは扱いにくい試作や異種材料評価、システム実証までを視野に入れた開発を加速します。旧MNC時代からの高稼働な共用基盤（50以上の研究室、約300名の登録ユーザー、年間利用時間44,000時間超）を継承・拡大し、学内外の連携と共創を通じて、次世代のスマートシステム技術と実践的教育・研究者育成に貢献します。