半導体用高純度素材の安定供給

半導体製造マイクロ・ナノバブルテクノロジー

高性能高機能イメージセンサデバイス

高性能半導体プラズマ装置・プロセス技術開発

半導体製造用ウルトラクリーンテクノロジー

先進半導体部材・製造装置技術及びイメージセンサ・デバイス

窒化物半導体のエピタキシャル成長とそのデバイス化

化合物半導体による高周波電子デバイス

次世代半導体素子のSNDMによる評価・解析