東北大学が長年培い世界をリードしてきた先端半導体グレードのウルトラクリーン装置部素材開発，脱ガス・パーティクル汚染計測評価技術を深化発展させています．これらのインフラ技術は先進の半導体分野を支える基盤技術となるだけでなく，異業種の製造業にも展開させています．また，オープンイノベーションの場としてクリーンルーム施設・装置を提供しています．