半導体用高純度素材の安定供給
教授
長坂 徹也
｜
Tetsuya Nagasaka
メッセージ
半導体製造に不可欠な経済安全保障上の戦略物質である高純度リン酸、フッ酸等を新規な方法で半導体製造ライン内で循環利用できる方法を開発中。
CONTACT
本学の半導体に関する研究に興味のある企業さまからのお問い合わせをお待ちしております。
