東北大学｜半導体テクノロジー共創体

RESEARCH SEEDS

微細加工プロセス技術とオープンプラットフォーム

加工・実装
マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）

教授

戸津 健太郎

｜

Kentaro Totsu

http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp

メッセージ

企業との共同研究のほか、共用設備「試作コインランドリ」を基盤として、微細加工プロセスの開発と各種デバイスの試作支援を行っています。2022年には「プロトタイプラボ」も開設して、デバイスのシステム化にも取り組んでいます。

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