東北大学｜半導体テクノロジー共創体

RESEARCH SEEDS

半導体製造マイクロ・ナノバブルテクノロジー

製造装置・プロセス
未来科学技術共同研究センター(NICHe)

特任教授

高橋 正好

｜

Masayoshi Takahashi

https://www.fff.niche.tohoku.ac.jp/

メッセージ

マイクロ・ナノバブル水のメカニズムを探求しつつ半導体ウェットプロセス，部素材の洗浄さらには半導体工場の付帯設備への応用展開について開発を行っています．

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